产品介绍：
该显微镜检测设备主要应用于O L E D 、AMO LED 、L CD 、PDP 、PCB等相关光电产业，为其研发、品质管控与不良分析提供必需的检测设备 。可对应测量微小轮廓高度，观察OLB压接 粒子分布、异物／划伤等不良，以及导电粒子粒径测量等功能。
该设备的测量软件高度集成了测量、缺陷分析，多轴运动速度控制，以及光学系统调节功 能（ 光源调节 、倍 率调节 、焦距自动调节等功能），与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化 操作等方面的优势。
产品参数：
工作台尺寸 (mm) | 1280*1540 |
玻璃台尺寸 (mm) | 1260*1460 |
运动行程 (mm) | X:1200 Y:800 (电动） |
调焦行程 (mm) | Z轴150(电动） |
主显微镜系统 | 反射式共焦激光扫描显微镜激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机 |
示值误差(um) | 视场外精度 X/Y小于等于(3+L/200), Z小于等于(5+L/200) |
照明系统 | 观察显微镜：LED表面光及轮廓光 |
操作台 | 功能：启动/急停/摇杆操作/ 速度调整//破真空/ |
驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱 ，Z 轴伺服电机驱动 |
外形尺寸 (mm) | 2210*2150*2030 |
仪器重量 (kg) | 4500 |
玻璃台承重(kg) | 20 |
仪器电源 | 220V(AC) ±10% 50HZ |
运行高度 ( mm ) | 1000 |
测量软体 | 3D高度测量/完整的画面实时二维量测/ 自动保存图片/ 录像功能/实时坐标定位/指定Folder 和Server 上保存 Image /支持多款控制器/ 支持多款工业相机/图像扫描拼接 |
