产品介绍
该光学显微镜检查设备主要应用于LCD 、PDP 、PCB等相关光电产业，为其研发、品质管控与不良分析提供必需的检测设备 。可对应观察OLB压接粒子分布、LCD面板异物/划伤等不良，以及导电粒子粒径测量等功能。
该产品的测量软件高度集成了测量、缺陷分析、多轴运动速度控制、以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能)，与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。
产品参数：
| 工作台尺寸 | 75 | 85 | 110 |
玻璃台尺寸（mm） | 2090*1610 | 2480*1780 | 2880*2260 |
运动行程（mm） | X:1820 Y:1220 | X:2240 Y:1240 Z:150 | X:2630 Y:1720 Z:200 |
调焦行程（mm） | Z:150 | Z:150 | Z:200 |
主显微镜系统 | 三目观察筒 目镜：10倍 物镜：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）观察模式：反射、透射、偏光、明场、暗场、DIC 5孔电动物镜转换镜 | ||
示值误差 | 视视场内：2μm；场外精度X/Y≤（3+L/200）μm， Z≤（5+L/200）μm | ||
照明系统 | 卤素灯表面光LED | ||
| 操作台 | 定制型操作台 功能：启动/急停/摇杆操作/速度调整/ 电脑开关/破真空/倍率切换/三轴微调/电动偏光/电动DIC | ||
| 驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱，Z轴伺服电机驱动 | ||
| 工业相机 | 传感器类型：CMOS，全局快门 | ||
| 传感器型号：IMX264 | |||
| 像元尺寸：3 . 45μmX 3 . 45 μm | |||
| 靶面尺寸：2/3” | |||
| 分辨率：2448*2048 | |||
| 帧率：23.27fps | |||
| 动态范围：72dB | |||
| 信噪比：40.2dB | |||
| 黑白/彩色：彩色 | |||
| 外形尺寸（mm） 长X宽X高 | 4500*2500*1500 | ||
| 仪器重量（kg） | 8300 | ||
| 玻璃台承重(kg） | 30 | ||
| 仪器电源 | 220V(AC) ±10% 50HZ | ||
| 运行高度（mm） | 950 | ||
| 测量软体 | 完整的画面实时二维量测/自动保存图片/录像功能/ 实时坐标定位/指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器/支持多款工业相机/图像扫描拼接 | ||
