产品介绍:
该光学显微镜检查设备主要应用于LCD、PDP、PCB等相关光电产业,为其研发、品质管控与不良分析提供必需的检测设备。可对应观察OLB压接粒子分布、液晶LCD面板Pattern异物/划伤等不良,以及导电粒子粒径测量等功能。
该产品的测量软件高度集成了测量、缺陷分析,多轴运动速度控制,以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能),与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。
特色:
1、采用Nikon或者Olympus高解析度光学系统。
2、强大的点、线、弧量测功能。
3、清晰逼真的观测效果。
4、龙门式结构设计。
5、花岗岩基座平台。
6、可依据客户要求设计。
技术参数:
工作台尺寸(mm) | 2800*1900 |
玻璃台尺寸(mm) | 2600*1700 |
运动行程(mm) | X:2500 Y:1600(电动) |
调焦行程(mm) | Z轴100mm(电动) |
主显微镜系统(Nikon or Olympus) | 三目头 目镜:10倍 物镜:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(BD)观察模式:反射,透射,偏光,明场,暗场,DIC 5孔电动物镜转换镜 |
侧显系统 | 单筒镜头:美国NAVITAR无穷远同轴光镜头 变倍范围:0.7X-4.5X 金相物镜:三丰APO长工作距离金相物镜(选配) 倍率:10X 工作距离:33.5mm(加装金相物镜后) 景深:3.5um Min Focus Step: 0.3um 激光安全防撞 |
示值误差(视场内)mm | 视场外精度X.Y小于等于(3+L/200)um,Z小于等于(5+L/200)um |
照明系统 | 卤素灯表面光及轮廓光 |
操作台 | 定制型操作台 功能: 启动/急停/摇杆操作/速度调整/电脑开关/破真空/倍率切换/三轴微调/电动偏光/电动DIC |
驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱,Z轴伺服电机驱动 |
工业相机 | 传感器类型: CMOS,全局快门 传感器型号: IMX264 像元尺寸: 3.45 µm × 3.45 µm 靶面尺寸: 2/3” 分辨率: 2448 × 2048 帧率:23.27 fps 动态范围: 72 dB 信噪比: 40.2 dB 黑白/彩色: 彩色 |
外形尺寸(mm) 长X宽X高 | 4500*2500*1500 |
仪器重量(KG) | 8300 |
玻璃台承重 | 20KG |
仪器电源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
Passline(mm) | 950 |
测量软体 | 完整的画面实时二维量测 自动保存图片 录像功能 实时坐标定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工业相机 图像扫描拼接 |