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产品介绍：
INTJ-51A系列显微镜的各项操作根据人机工程学设计，最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能。
适用于晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。可根据实际应用，进行功能选择。
技术参数：
| 光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
| 观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
| 观察筒 | 宽视场铰链式正像三目观察筒,0-35°倾角可调， 瞳距调节 ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
| 目镜 | 无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X、10X、20X、50X 、100X |
| 转换器 | 明暗场六孔电动转换器，带 DIC 插槽 |
| 机架组 | 1、反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 2、透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm，微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 |
| 载物台 | 右手位 14×12 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节 ；平台面积 718mmX420mm， 移动范围 ：356mmX305mm 带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动 ；玻璃载物台板 ( 反射用） |
| 电动平台 | 面积 495mmX641mm，移动范围 ：306mmX306mm ；软件控制 X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台 |
| 照明系统 | 明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调 ；带明暗场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
| 摄影摄像附件 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
| 其他 | 起偏镜插板，固定式检偏镜插板，反射用干涉滤色片组 ；高精度测微尺 ；DIC 组件 |
