当前所在的位置：首页 · 产品中心 · 微纳检查 · 光学显微镜标准机系列
产品介绍：
该设备主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、LCD液晶屏玻璃侧边检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域，可对样品进行明场、暗场、偏光以及微分干涉观察。光源可选卤素灯、光纤照明，可以配电动物镜转盘、成像系统，可以对应多种需求的系统显微镜。
采用Nikon或者Olympus高解析度光学系统。
强大的点、线、弧量测功能。
清晰逼真的观测效果。
龙门式结构设计。
花岗岩基座平台。
可依据客户要求设计。
技术参数：
| 工作台尺寸（mm） | 800*900 |
| 玻璃台尺寸（mm） | 200 |
| 运动行程（mm） | X：600Y：700（电动） |
| 调焦行程（mm） | Z轴100mm（电动） |
| 主显微镜系统 （Nikon or Olympus） | 三目观察筒 目镜：10倍 物镜：5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）、100X（BD） 观察模式：反射，透射，偏光，明场，暗场，DIC 5孔电动物镜转换镜 |
| 侧显系统 | 单筒镜头：美国NAVITAR无穷远同轴光镜头；变倍范围：0.7X-4.5X 金相物镜：三丰APO长工作距离金相物镜（选配）；倍率：10X；工作距离：33.5mm（加装金相物镜后）；景深：3.5um；Min Focus Step:0.3um；激光安全防撞 |
| 示值误差（视场内）mm | 视场外精度XY小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系统 | 卤素灯表面光及轮廓光 |
| 操作台 | 定制型操作台 |
| 功能 | 启动/急停/摇杆操作/速度调整/电脑开关/破真空/倍率切换/三轴微调/电动偏光/电动DIC/侧显Z轴 |
| 驱动系统 | 三轴伺服电机驱动 |
| 工业相机 | 传感器类型： CMOS，全局快门;传感器型号： IMX264;像元尺寸： 3.45 µm × 3.45 µm；靶面尺寸： 2/3”；分辨率： 2448 × 2048;帧率：23.27 fps 动态范围： 72 dB;信噪比： 40.2 dB；黑白/彩色： 彩色 |
| 玻璃台承重 | 20KG |
| 仪器电源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
| Passline（mm） | 950 |
| 测量软件 | 主显/侧显双画面切换；主显/侧显校正数据自动切换；完整的画面实时二维量测；自动保存图片；录像功能；实时坐标定位；指定的Folder和Server上保存Image；支持多款控制器；支持多款工业相机；图像扫描拼接 |
