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产品介绍：
该系列3 D光学轮廓显微镜由精密工作台、照明系统、光学干涉成像系统、相移运动、图像采集系统和图像数据处理系统组成。
探测器放置在防振浮选平台上。装载平台用于放置待测零件，同时通过倾斜和二维XY平移调节将被测表面准确地定位在目标区域内。
检测使用MI RAU干涉物镜以获得表面干涉图像；压电陶瓷（ PZT ）实现微位移控制。
技术参数：
| 测量模式： | PSI + VSI WLSI |
| CCD相机： | 1280×960 |
| Z高度分辨率： | 0.1 nm |
| RMS重复性： | 0.01 nm（1σ） |
| 台阶高度重复性： | 0.10% |
| Z测量范围： | 100 um（400 um可选） |
| 照明： | 长寿命LED |
| 物镜： | 2.5 x、5x、10 x、20x、50x |
| XY工作台： | 160 mm（手动/电动可选）+倾斜度调节（手动） |
| 系统软件/硬件： | Window 7 64bit，Nanosight 3D软件，Intel I7 |
