2024年6月22日—23日,“新一代半导体晶体技术及应用大会”在济南召开。本次会议是在第三代半导体产业技术创新战略联盟、山东大学指导下,山东大学新一代半导体材料研究院、山东大学晶体材料国家重点实验室、济南市历城区人民政府、山东中晶芯源半导体科技有限公司、山东华光光电子股份有限公司、极智半导体产业网、第三代半导体产业联合主办,并得到了济南市政府、山东省科技厅的大力支持。
中国科学院院士,中国科学院原副院长,中国科学院大学原党委、校长,大会顾问李树深,中国科学院院士、厦门大学党委书记、大会主席张荣,中国科学院院士江风益,第三代半导体产业技术创新战略联盟理事长、大会主席吴玲,山东大学党委常委、副校长芦延华,山东大学晶体材料国家重点实验室主任、新一代半导体材料研究院院长、大会主席徐现刚,广州南砂晶圆半导体技术有限公司董事长王垚浩,山东华光光电子有限公司董事长吴德华,济南市委副书记、市长于海田,济南市副市长谢堃,济南市政府秘书长韩振国,山东省科技厅二级巡视员王洪国等院士、领导、专家,以及相关部门负责领导,产业链相关高校院所专家、学者、金融机构代表、产业界领袖等350余位嘉宾代表出席本次论坛。围绕碳化硅晶体技术及其应用,氮化镓、超宽禁带晶体及其应用,砷化镓、磷化铟晶体及激光器技术,金刚石和半导体测试技术等主题,深入探讨交流新一代半导体晶体技术进展与发展趋势,分享前沿研究成果,携手助力我国新一代半导体晶体技术进步和产业发展
才道精密做为半导体检测设备领域的新锐企业,做为本次会议的协办单位,出席了本次会议。
做为会议的协办单位,才道精密在本次会议上,就第三代半导体产业链中,“衬底和外延片检测设备国产化”的现状,做了专题发言。
会议现场,才道精密也展示了“进口替代”“国产化检测设备”一个代表性成果——纳米尺度的检测设备:原子力显微镜;这是碳化硅氮化镓等新一代化合物半导体衬底和外延片必检项—粗糙度检测必用设备。同时,公司工作人员现场为来宾做了操作演示,鉴证了扫描效果和实际精度。
原子力显微的市场,尤其是工业端的市场,一直被国际品牌所垄断。致力于做“进口替代”的才道精密,经过几年的努力,终于首先在半导体工业端实现了该设备的国产化。目前该设备正在被半导体行业用户所了解并选用。
在这次会议上,国产化原子力显微的亮相,也让与会的专家学者产业界同仁,看到了检测设备国产化的期望和中国企业做国产化设备的决心。