2023行家极光奖 | 才道精密原子力显微镜获“年度优秀产品奖”

2023年12月13日-14日，行家说三代半年会“2023碳化硅&氮化镓产业高峰论坛暨极光奖颁奖典礼”在深圳隆重举行。才道精密凭借在第三代半导体领域纳米尺度下三维表征检测的核心设备——原子力显微镜，荣膺行家极光奖——【年度优秀产品奖】。

“行家极光奖”旨在表彰在技术创新、推广应用、产业化等方面作出突出贡献的企业和优秀产品。此次2023年行家极光奖获奖的还有北方华创，大族半导体，英飞凌，意法半导体、京东方华灿光电、三安半导体、天科合达等业内头部企业。

原子力显微镜是继扫描隧道显微镜之后发明的一种具有原子级高分辨的新型仪器，可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，亦可直接进行纳米操纵;因此它的发明者在1986 年获得了诺贝尔物理学奖，原子力显微镜是当今世上分辨率最高的表面观测仪器。广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中，成为纳米科学研究的基本工具。

由于原子力显微镜在相当长的一段时间里被国外品牌垄断，进口精密仪器所涉及的交货周期长、采购成本高，售后维修保养不到位等，对国内用户的发展产生了极大的制约。

才道精密一直致力于半导体、泛半导体行业的高精度工业检测设备的研发和生产。基于半导体行业客户对原子力显微镜的需求，公司于2023年推出了12英寸大样品工业型原子力显微镜，主要用于晶圆等纳米材料表面三维形貌及粗糙度测量，目前已在第三代半导体领域获得广泛关注与应用。

图左三为江苏才道精密仪器有限公司领奖代表

获奖仪器：原子力显微镜

设备型号：CD-AFM-12S

应用领域：

微纳材料表面三维形貌、粗糙度的检测。

包括：晶圆（硅片）；光栅；陶瓷；合金；薄膜；晶体；超晶玻璃；高分子材料；复合材料；第三代半导体碳化硅、氮化镓、铌酸锂化合物衬底等。

主要优势：

一体式三维全量程闭环头部扫描。实现闭环反馈，定位更精准。

原位数字化高分辨光学显微镜观测系统，配备1-12倍无级光学变焦，同轴可调亮度辅助照明光源。

300mm真空吸附样品台，自动适应各种尺寸晶圆的全软件控制的多道真空吸轨。扫描角度：覆盖0～360°。

超实用和扩展，可以实现各种测量仪器的联动使用，最终实现跨尺度原位检测。

未来，才道精密将一如既往聚焦半导体行业，深耕产品创新，为精密工业显微装备国产化砥砺前行！

联系电话：18900698227

联系人：彭女士