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国产化原子力显微镜亮相“2023全国第三代半导体大会”

2023-12-18

国产化原子力显微镜亮相“2023全国第三代半导体大会”

2023年10月28-29日,为期两天的2023全国第三代半导体大会在深圳成功举办。本次盛会汇集了来自全国各地的400多家企业,共同探讨了第三代半导体产业的发展趋势和应用前景。其中,对于化合物半导体材料和设备的国产化进程的探讨尤为深入。

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图1:大会签名墙

第三代半导体材料(包括碳化硅和氮化镓等),是战略性新兴产业的核心,具有极高的市场前景。然而对于这些材料的生产来说,粗糙度检测是一个关键环节。原子力显微镜在化合物半导体衬底和外延片的粗糙度检测方面,是不可缺少的检测设备,发挥着重要作用。

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图2:主会场

才道精密携国产化原子力显微镜亮相本次会议。

原子力显微镜是可以实现纳米尺度三维成像及测量的显微工具 ,主要应用于半导体晶圆及微纳器件、纳米材料的表面三维形貌、粗糙度和关键尺寸的测量。具备性能稳定和精度高等特性,能够在不破坏样品的情况下,高效实现选点扫描检测,是半导体行业不可缺少的检测设备。这个市场长期被国外的布鲁克、帕克等品牌所垄断。

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图3:第三代半导体材料碳化硅、氮化镓最新进展

江苏才道精密致力于半导体、泛半导体高精密检测设备的研发,为了改变这一现状,经过3年努力,终于推出了8寸/12寸工业型原子力显微镜,来满足产业的需求。这款原子力显微镜精度完全可以与进口品牌保持一致,它的推出,实现了原子力显微镜的国产替代,打破了国外品牌的长期垄断,为国内半导体产业的发展提供了强有力的支持。

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图3:才道精密亮相会议

国产化替代是大势所趋,而才道精密的这款设备,无疑是为这个进程注入了新的动力。才道精密也将不断通过持续的创新和积累,不断提升设备自动化能力,为国内半导体产业的发展提供竞争力供给。

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图4:行业人士咨询才道原子力显微镜

 总的来说,2023全国第三代半导体大会为国内的半导体企业提供了一个交流、学习和发展的平台,才道精密将同行业内上下游企业一起,努力奋进。

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