四年磨一剑，风雨未曾阻

2019年，江苏才道精密仪器有限公司布局半导体高精度检测领域，瞄准原子力显微镜这一高精尖仪器的国内空白市场，毅然决然投身于原子力显微镜国产化的荆棘之路。四年来，才道技术人员攻坚克难，终于在2022年底，推出了工业型的原子力显微镜。

2023年7月底，才道精密首台12吋原子力显微镜，顺利交付使用。

发货现场

安装调试现场

对客户进行操作培训

培训完成，颁发证书

该设备有精致的颜值，更有多项自动化性能、同时，更具实用性和可拓展性，可实现多种测量仪器联合使用，最终实现跨尺度的原位检测。

工业型大样品原子力显微镜的主要应用场景有：

微纳材料表面三维形貌、粗糙度的检测——

包括：晶圆（硅片）；光栅；陶瓷；合金；薄膜；晶体；超晶玻璃；高分子材料；复合材料；第三代半导体砷化镓、氮化镓、铌酸锂化合物衬底等。

实测图例1：

实测图例2：