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产品介绍：
该设备主要应用于硅基显示行业，为其研发、品质管控与不良分析提供必需的检测和修复。对不良位置做激光标记、对不良点进行激光修复等。
该产品的软件高度集成了测量、缺陷分析，多轴运动速度控制，双镜头切换，以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能)，与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。
1、采用Nikon或者Olympus高解析度光学系统。
2、强大的点、线、弧量测功能。
3、清晰逼真的观测效果。
4、龙门式结构设计。
5、花岗岩基座平台。
6、可依据客户要求设计。
技术参数：
| 工作台尺寸（mm） | 2010*1940 |
| 玻璃台尺寸（mm） | 1850*1330 |
| 运动行程（mm） | X:1500 Y:925（电动） |
| 调焦行程（mm） | Z轴100mm（电动） |
| 主显微镜系统（Nikon or Olympus） | 三目头 目镜：10倍 物镜：5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（CR）、100X（BD） 观察模式：反射，透射，偏光，明场，暗场，DIC、荧光 5孔电动物镜转换镜 |
激光系统 | 镜头： 光路：三丰VMU系列激光专用光路 金相物镜：三丰APO长工作距离红外紫外金相物镜 倍率：5X、10X、20X、50X 工作距离：34mm、34mm、20mm、17mm 景深：14um、3.5um、1.7um、1.6um |
激光器： 振荡波长（nm）：1064、532、355 最大输出能量（mJ / puls）：1.2@1064、1.2@532、0.8@355 最大峰值功率（MW）：0.17@1064、0.17@532、0.13@355 脉冲宽度（纳秒）：8-6@1064、8-6@532、7-5@355 反复振荡频率（Hz）： 1～6Hz 角型狭缝：电动XY /最大3毫米。 输出变量（％）：0-100% (512段階） 最小加工直径（使用100倍镜头时）（μm）：2@1064、1@532@355 最大工作直径（使用10倍镜头时）（μm）：300@1064、150（使用20x镜头时的加工直径）@532@355 | |
| 示值误差（视场内）mm | 视场外精度X.Y小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系统 | 观察显微镜：汞表面、LED表面光及轮廓光 |
| 激光修复显微镜： | 卤素灯表面光及轮廓光 |
| 操作台 | 定制型操作台 |
| 功能： | 启动/急停/摇杆操作/速度调整/电脑开关/破真空/吸附/局部吸附/亮度调节/倍率切换/三轴微调/激光控制 |
| 驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱，Z轴伺服电机驱动 |
| 工业相机 | 传感器类型： CMOS，全局快门 传感器型号： IMX264 像元尺寸： 3.45 µm × 3.45 µm 靶面尺寸： 2/3” 分辨率： 2448 × 2048 帧率：23.27 fps 动态范围： 72 dB 信噪比： 40.2 dB 黑白/彩色： 彩色 |
外形尺寸（mm） 长X宽X高 | 3600*2700*1900 |
| 仪器重量（KG） | 10000 |
| 玻璃台承重 | 20KG |
| 仪器电源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
