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该激光镭射修复机主要应用于MICRO.OLED等显示面板行业。由日本HO Y A 系列镭射系统 、日 本三丰光学影像系统、X/Y/Z 马达驱动系统 、电 控 系 统 、气 压 避 震 系统 、大 理石平台面及设备安全外罩等组成 。可 针对制程当中发光区域内因异物 、短路 产 生 的 亮 点 、灰 亮 点 、亮线等不良进行镭射修复。
产品参数：
工作台尺寸 (mm) | 500*600 |
| 晶圆卡盘尺寸 (mm) | 460 |
| 玻璃台尺寸 (mm) | 350*450 |
| 运动行程 (mm) | X:420 Y:320 (电动） |
| 调焦行程 (mm) | Z轴140(电动） |
| 主显微镜系统 | 光学系统：三丰VMU系列镭射专用光路 金相物镜：三丰APO长工作距离红外紫外金相物镜倍率：5X、10X、20X、50X 激光器：振荡波长（nm）：1064、532、355最大输出能量（mJ/puls）：1.2@1064、1.2@532、0.8@355最大峰值功率（MW）：0.17@1064、0.17@532、 0.13@355脉冲宽度（纳秒）：8-6@1064、8-6@532、 7-5@355反复振荡频率（Hz）： 1～6Hz角型狭缝：电动XY /最大3毫米。输出变量（％）：0-100% (512段階）最小加工直径（使用100倍镜头时）（μm）：2@1064、1@532@355最大工作直径（使用10倍镜头时）（μm）：300@1064、150（使用20x镜头时的加工直径） @532@355 |
| 示值误差 | 视场外精度 X/Y≤(3+L/ 200) um Z≤(5+L / 200) um |
| 照明系统 | 观察显微镜：LED同轴光及轮廓光 |
| 操作台 | 功能：启动/急停/摇杆操作/ 速度调整/破真空/吸附/局部吸附/亮度调节/倍率切换/ 三轴微调 |
| 驱动系统 | X/Z龙门伺服电机驱动 ，Y轴平台伺服电机驱动 |
| 外形尺寸 (mm)长X宽X高 | 1610*1640*1860 |
| 仪器重量 (kg) | 800 |
| 玻璃台承重(kg) | 50 |
| 仪器电源 | 220V(AC)5OHZ , 3KW |
| 运行高度 ( mm ) | 1000 |
测量软体 | 完整的画面实时二维量测/ 激光调节/自动保存图片/录像功能/实时坐标定位/指定Folder 和Server上保存 Image/支持多款控制器 /支持多款工业相机/图像扫描拼接 |
