MINI/MICRO LED面板镭射探针台,适用于面板行业研发测试系统,包含镭射修复 ,面板点亮 ,电信号测试 ,尺寸测量等功能 系统设置双工位 ,可同时测试不同样品,提升测试效率。
产品参数:
工作台尺寸(mm) | L680 x W575 (可定制) |
工作台数量 | 2 |
工作台材质 | 玻璃 |
X-Y-Z行程(mm) | XYZ:370x470x150 |
X-Y轴运动速度(mm) | 0~200/s可调 |
Z轴运动速度(mm) | 0~100/s 可调 |
调焦行程(mm) | 150 |
显微光路 | 三丰APO长焦物镜: 5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV |
激光系统(nm) | 进口激光器 振荡波长:1064/532/355 最大输出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8 可加工材质:Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等 激光器冷却方式:风冷/水冷 |
像素(um) | 传感器:2/3“ IMX264 CMOS 传感器,全局快门 像元尺寸:3.45 x3.45 分辨率:2448*2048 颜色:彩色 |
探针系统 | 三边式探针座支撑台设计,可支持多达12个探针座同时点针测试 探针座XYZ行程:12x12x12mm,线性移动,移动精度<1μm 探针座固定方式:磁吸式 探针夹具:同轴/三同轴夹具 搭配探针类型:直流针,探针卡,射频探针等 电信号测试类型:I-V,C-V,R,脉冲,频率等测试 |
屏幕点灯机 | 探针数量:45根(可定制) 支持Cell端的点亮测试 |
操作软件 | CD-C |
设备隔振 | 气浮式隔振 |
设备外形尺寸(mm) | L*W*H 3300*2200*2650 |
设备总重(kg) | 约7200 |